日本山武(YAMATAKE)氣體質(zhì)量流量計(jì) 1.CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500、CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000等CMS系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是高可靠型氣體質(zhì)量流量計(jì)，CMS系列氣體質(zhì)量流量計(jì)使用了由山武公司新近開發(fā)的微流量傳感器，這種傳感器是感熱式流量傳感單元。超小型結(jié)構(gòu)，高精度的傳感器，高密度集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合使這種儀表具有精度高、測(cè)量范圍大且成本低的優(yōu)點(diǎn)。 2.CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050等CMQ系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是高機(jī)能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，它使用了山武公司研制的感熱式微流量傳感器uF和比例電磁閥的先進(jìn)技術(shù)。因此CMQ是一種高性能、低成本的產(chǎn)品。CMQ具有相應(yīng)快、控制范圍寬的特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。