S5000DX 表面粗糙度測(cè)量機(jī)

測(cè)量范圍（mm）
Z軸（縱向）  13mm/50mm測(cè)臂、臂26mm/100mm測(cè)臂
X軸（橫向）  200mm
精度
Z軸指示精度（縱向）  ±(0.2+2| H |/100) mm  　  ?。ā?.206μｍ/ H±6ｍｍ）
測(cè)量分辨率0.31ｎｍ/50ｍｍ測(cè)臂
X軸指示精度（橫向）  ±0.2＋L/1000μｍ　?。ā?.4μｍ/L200ｍｍ）
測(cè)量分辨率0.54nm
直線度精度0.05＋3L/10000μｍ?。?.11μｍ/L200ｍｍ）
測(cè)量方式
Z軸（縱向）  高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計(jì)
X軸（橫向）  反光分析光尺
粗糙度處理功能
參數(shù)或計(jì)算類型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
標(biāo)準(zhǔn)Ra，Rq，Ry，Rp，Pv，Rc，Rz，Rmax，Rt.Rz，J，R3z，Sm，S，R△a，R△q，Rla，Rlq，TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk，Mr1，Mr2，VO，K，tp，Rmr Rmr2，Rdc，AVH，Hmax，Hmin，AREANCRX，R，Rx，AR，NR，CPM，
SR，SAR
評(píng)價(jià)曲線
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線
波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線
表面特性圖表負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線
傾斜補(bǔ)償
直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵曲線補(bǔ)償（直線、R面、兩端補(bǔ)償可
以在任意范圍內(nèi)）
CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9級(jí)）任意（0.001-50mm）
縱倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
橫倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
輪廓度處理功能
參數(shù)或計(jì)算類型
點(diǎn)、直線、部分圓、橢圓、最在點(diǎn)、最小點(diǎn)、距離、坐標(biāo)著、極坐標(biāo)差、直交/極坐標(biāo)差顯示、交叉
要素（點(diǎn)-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓）、對(duì)稱要素（點(diǎn)-點(diǎn)、點(diǎn)-圓、點(diǎn)-橢圓、直
線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓?-橢圓）、面積計(jì)算、Overpin計(jì)算、尺寸線顯示功能、計(jì)算結(jié)果與
設(shè)計(jì)值比對(duì)、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動(dòng)要素判定、計(jì)算點(diǎn)的重復(fù)功能、工件軌跡功
能、峰值谷值搜尋功能、自動(dòng)操作記錄.回放功能、形狀設(shè)計(jì)值比對(duì)、最佳似合功能、設(shè)計(jì)值生成、
IGES/DXF轉(zhuǎn)換
基準(zhǔn)設(shè)定原點(diǎn)設(shè)定、X軸設(shè)定、平行移動(dòng)、回轉(zhuǎn)移動(dòng)
最小測(cè)量間距0.0005~1mm
最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)最大150，000點(diǎn)
縱倍率0．01～10，000，000倍（任意、自動(dòng)）
橫倍率0．01～10，000，000倍（任意、自動(dòng)）
驅(qū)動(dòng)速度
上下移動(dòng)速度（Z軸）  0~200mm/s
測(cè)量速度（X軸）  0.03~3mm/s（粗糙度測(cè)量時(shí)）  0.02~20mm/s（輪廓度測(cè)量時(shí)）
移動(dòng)速度（X軸）  0.02~60mm/s
上下驅(qū)動(dòng)范圍500mm
驅(qū)動(dòng)部交換式、0.75mN、2mmR半徑、金剛石

·準(zhǔn)確性世界第一
儀器選用高穩(wěn)定性雙光路激光干涉式傳感器，實(shí)現(xiàn)了世界最高分辨率:0.3nm
·設(shè)計(jì)新穎
新的圓柱形設(shè)計(jì)，可使儀器檢測(cè)更大的工件
·速度快，振動(dòng)小
在驅(qū)動(dòng)器上采用線性馬達(dá)技術(shù)，使得測(cè)量的速度快，振動(dòng)小。高速測(cè)量(最大200mm/s)，實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率