LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L200 反射專用型
ECLIPSE L200D 透反射兩用型 
使用世界頂級水平的尼康CFI60光學系統(tǒng)，對光路中的耀斑有很好的抑制，可以實現(xiàn)很高的圖象對比度。
可以觀察的最大硅片直徑為200mm，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
物鏡齊焦距離為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；
主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
光亮調(diào)節(jié)、光闌調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞；
可以與尼康的硅片輸送機配合使用，提高硅片檢測效率。
＜微分干涉套＞ 
全體物鏡共用物鏡轉(zhuǎn)換器內(nèi)的諾曼斯基棱鏡，結構簡單，成象質(zhì)量高。