半導體產業(yè)的干式排氣處理中廣泛使用椰殼活性炭的主要原因，有如下七點：
　　(1)化學性質穩(wěn)定
　　(2)價格便宜
　　(3)有活性力
　　(4)比表面積大
　　(5)供給穩(wěn)定
　　(6)安全性好
　　(7)比重比較輕
　　干式排氣處理方式有兩種．一種是利用具有這些優(yōu)點的椰殼活性炭本身的吸附機能及觸媒機能的方式；另一種是利用通過添加成分提高了吸附機能及觸媒機能的機能性椰殼活性炭的方式。半導體產業(yè)中一般使用成型椰殼活性炭及破碎狀顆粒活性炭，幾乎不使用蜂巢狀活性炭及其他考慮壓力損失等的特殊形狀的椰殼活性炭。這是因為，所使用的半導體產業(yè)的氣體中，特別是需要處理的氣體，大多數是無機系的氣體，無論是進行吸附反應還是進行觸媒反應，無機反應產物都附著在椰殼活性炭表面上，總表面積等比壓力損失更加重要的緣故。
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