石墨舟清洗機(jī)
石墨舟清洗機(jī)主要用于太陽(yáng)能行業(yè)清洗管式PECVD石墨舟。適用于長(zhǎng)度小于1500mm石墨舟的清洗。
石墨舟清洗機(jī)性能
1. 設(shè)備分有兩個(gè)清洗槽，滿足HF浸泡式清洗，人工裝取工件，頂部有吸風(fēng)罩。
2. 有4只安裝石墨舟片子的磁白色PP籃筐。
3. 氣動(dòng)隔膜泵實(shí)現(xiàn)A槽與B槽酸循環(huán)，實(shí)現(xiàn)清洗功能。
主要參數(shù)：
清洗槽數(shù)量：2
最大石墨舟片長(zhǎng)度：1320 mm
清洗槽尺寸（長(zhǎng)*寬*高）：2850X500X520
槽體材質(zhì)：進(jìn)口PP
柜體材質(zhì)：進(jìn)口PP
PP氣動(dòng)隔膜泵：流量 50L/min，德國(guó)VERDERAIR VA15, PP材質(zhì)
去離子水壓力  0.3Mpa
去離子水流量  >20L/min
去離子水接口：1” PP管
壓縮空氣壓力  0.5-0.7Mpa
控制系統(tǒng)：PLC可編程控制，松下PLC，松下液晶觸摸屏
外型尺寸（長(zhǎng)*寬*高）mm：3800*1410*1950
功率：100w，220V