Heatpulse 8108快速退火爐

原制造商：AG Associates               
設備類型：快速退火爐
AG Associates Heatpulse 8108系列快速退火系統(tǒng)具有成本低，適用面廣等優(yōu)點。是專門為半導體器件生產廠家快速退火工藝設計制造的退火系統(tǒng)，被廣泛應用驗證。該系統(tǒng)采用自動傳片系統(tǒng)，(Video)適用于標準硅片、復合半導體材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可從3英寸到8英寸。操作簡便，自動化程度高，已廣泛應用在半導體制造產業(yè)。
優(yōu)越的工藝控制： 單片，閉環(huán)溫度控制； 快速升溫與降溫控制； 工藝重復性高； SLIP FREE 特殊晶片的自動載片系統(tǒng)和精確的溫度控制，SLIP RING可防止晶片結構在高溫狀態(tài)下邊緣(大于1150℃) 產生滑移 4組加熱燈可分別控制，提高溫場均勻性。 工藝用途： 離子注入后快速退火； 歐姆接觸快速合金； 硅化物合金退火； 氧化物生長； 其它快速熱處理工藝。

同管式高溫爐的比較：
一般管式高溫爐只能設定一個工藝條件，即一個溫度；工藝周期長，使用不太靈活；須24小時加電恒溫，能耗較高，適用于生產?？焖偻嘶馉t，可以設定多個工藝條件，即多種溫度；工藝時間短，使用非常靈活；能耗很低；同一臺設備既可用作生產，也可用作科研，且任何科研工藝條件不會對生產工藝造成影響。

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