MXP Multiplex ICP HR

制造商： Surface Tech Sys
型號： MXP Multiplex ICP HR
Wafer 尺寸：
Minimum 50 mm
Maximum 200 mm
Set Size 150 mm
工藝： Chlorine Etch
Loadlock ：是
Loadlock Pump ：Edwards E2M40
High Vacuum Pump： Pfeiffer MAG 2000
Roughing Pump ：Edwards IQMB250 & IQDP80
RF Generator ： ENI/ACG-3B and Advanced Energy RFG 3001
Number of Gas Inputs： Five Gas
Process Gases： BCl3， Cl2， O2， Ar， He
Chillers ：Huber/Unistat 140W
附件： ICP V2 - Balun coil
Mechanical Clamp
Helium Backside Cooling
Carousel in MkIV MPX - 2 x 150mm wafers
3KW Source
300/30W platen
Purge gas line
E-Rack Modules: HCL1 +HCU3 +HCU5+VAC3Y +2x AMC1 +HBC2
其他信息： Windows 2000
Current Power Requirements: 400V ， 50Hz， 40 Amp， 3 phase
Unit can be configured for: 208/460， 60 Hz， 3 Phase.
CE Marked YES
制造年份： 2003
 

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