光伏無塵凈化車間：
    光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像鏡子一樣光亮的圓片，是生產半導體集成電路芯片的原材料。目前微電子產業(yè)飛速發(fā)展，集成電路技術已邁入0.18微米以下的時代，極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，同時對光伏新能源硅晶片的性能參數(shù)的要求也有較大的提高，因此光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂觀。
    光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風空調機組（MAU）和循環(huán)空調機組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發(fā)生器產生。
    1 CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，CP室工藝設備用酸量較多，采用全新風空調機組（MAU-3）+高效過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-潔凈區(qū)。
    2 ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+高效過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風組。
    3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數(shù)取為50次/小時，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+高效過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。
    4 7級、6 級的無塵室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風，房間側下百葉風口回風。其氣流流程為：新回風混合!中效空氣過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效空氣過濾器送風口-潔凈區(qū)-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。
    5 洗凈室、品質檢查室凈化級別為7 級，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+風機過濾器單元（FFU)）的空調方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風，房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合-化學過濾器（NH4+）-化學過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。
    凈化生產無塵車間的濕度是由新風機組MAU-1、2來保證，控制新風機組送風狀態(tài)點，根據(jù)送風狀態(tài)設定值來調節(jié)干蒸汽加濕器的電動執(zhí)行機構和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度。露點溫度DPT由檢查室內濕度敏感元件HE連續(xù)整定。凈化生產無塵車間的溫度是由循環(huán)機組AHU來保證的，根據(jù)室內溫度來調節(jié)表冷器回水管上的電動二通閥的開度。中凈環(huán)球凈化可提供光伏無塵凈化車間的咨詢、規(guī)劃、設計、施工裝修等配套服務。更多凈化車間信息可查看：www.ccg-sz.com/treeshow.asp?id=1559&mnid=9&sh=109