效 能╲機(jī) 型 8x6 12x12 精度 XY Uxy =2 L/250μm (L:mm) Uxy =2.6 L/175μm
(L:mm) 精度 Z U 2=3 L/150μm (L:mm) 重復(fù)性 XY 2μm 2.5μm 重復(fù)性 Z 2μm 加速度XY
20”/s2 (500mm/s2) 加速度 Z 8”/s2 (200mm/s2) 速度 XY 10”/s (250mm/s) 速度 Z
4”/s (100mm/s) 光學(xué)尺讀值 1μm/ 0.5μm / 0.1μm 機(jī) 械 性 質(zhì) 量測(cè)行程
8”x6”x6”(200x150x150mm) 12”x12”x6”(300x300x150mm) 外觀尺寸 LxWxH
760x635x965mm LxWxH 1090x865x990mm 重 量 130lb (60kg) 270lb (125kg)
床臺(tái)荷重 15lb (7.5kg) 25lb (12kg) 床 臺(tái) 表層電硬鍍& 固定螺孔基座材質(zhì) 鋁合金 (選配：花崗巖)
精密滑軌 XY：特殊軌道 Z：線性軌道移動(dòng)控制 伺服：CNC，鼠標(biāo)，下拉式控制。電 子 系 統(tǒng) 光學(xué)鏡頭 Motorized
Zoom/ 12：1，17-410X Or 6.5：1，20-250X 影像 & 光源 超高解析/ 彩色系統(tǒng)—白色LED
黑白系統(tǒng)—紅色LED 軟 體 InSpec for Win. 2000 幾何軟件計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 1.2GHz / 256 MB Ram/
Win. 2000/ CD-RW/網(wǎng)絡(luò)卡使用環(huán)境 68℉ (20℃)/ 溫度變化量：<2℉ 濕度：30-80%