氟化氫傳感器（HF傳感器）

電流型3極傳感器
極高的選擇性
可檢測(cè)酸性氣體
穩(wěn)定性好

典型應(yīng)用
TLV-監(jiān)測(cè)
半導(dǎo)體工業(yè)，一般工業(yè)場(chǎng)所

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍：0－10ppm
靈敏度范圍：600nA/ppm±200nA/ppm
在 20℃時(shí)的零電流：< ±100nA
在 20℃時(shí)的分辨率：< 0.25ppm
基準(zhǔn)電位：0mv
線性性：< 滿量程%5

在20℃ 時(shí)的反應(yīng)時(shí)間：
t50  暴露在空氣中5分鐘時(shí)，小于40S
t90　暴露在空氣中5分鐘時(shí)，小于90S

長(zhǎng)期靈敏度飄移:< 10%/月

工作條件

溫度范圍:-20℃~+35℃
濕度范圍:15~90%RH，無(wú)凝結(jié)

濕度影響:劇烈的變化會(huì)引起零點(diǎn)讀數(shù)的漂移

傳感器期望壽命:> 12月
質(zhì)保期:38周

傳感器對(duì)溫度特別敏感，要注意傳感器使用時(shí)候的試驗(yàn)條件及周圍環(huán)境
sensoric通常通過(guò)使用HCL的交叉靈敏度來(lái)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)，傳感器溫度特性
a) 零點(diǎn)讀數(shù)小于0.5ppm
b) 在 時(shí)靈敏度小于20%

20℃時(shí)的交叉靈敏度
氣體                                                                                                  濃度                              讀數(shù)
醇類                                                                                              1000ppm                          0
氫                                                                                                      3000ppm                        0
硫化氫                                                                                        20ppm                                0
氯氣                                                                                              1ppm                                  0.4
一氧化碳                                                                                100ppm                            0
氯化氫                                                                                        10ppm                              6.6                                     
一氧化二氮                                                                          10ppm                                  0

注意:
1.不同傳感器干擾因素不同，壽命不同.不提倡校準(zhǔn)干擾氣體.
2.此表沒(méi)有涵蓋所有的氣體，傳感器可能會(huì)對(duì)其它氣體敏感