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[供應(yīng)]真空鈦金屬鍍膜
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- 更新日期：2019-06-27 16:13:27
- 有效期至：2029-06-24
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真空鈦金屬鍍膜
詳細(xì)信息
FOXIN-TG多弧離子鍍膜機(jī)型號(hào)（直徑2m以內(nèi)）
性能型號(hào)
TG-1418
TG-1620
TG-1820
TG-2021
TG-2023
TG-2040
真空室尺寸:mm
Ф1400×H1800
Ф1600×H2000
Ф1800×H2000
Ф2000×H2100
Ф2000×H2300
Ф2000×H4000
真空室結(jié)構(gòu)
立式開(kāi)門(mén)、吊裝或臥室推車結(jié)構(gòu)配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)
真空獲得系統(tǒng)
維持泵+機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵或分子泵（具體型號(hào)可根據(jù)客戶的要求進(jìn)行配置）
真空測(cè)量系統(tǒng)
一臺(tái)皮拉尼(MKS) 一臺(tái)冷陰極(MKS) 一臺(tái)薄膜規(guī)(MKS)
電源類型
直流電源、中頻電源、脈沖電源（偏壓電源、弧電源）
極限真空指標(biāo)
空載冷態(tài) 1.0一6.0×10-4Pa
電弧源
16臺(tái)-24臺(tái)
16臺(tái)-24臺(tái)
18臺(tái)-26臺(tái)
18臺(tái)-26臺(tái)
22臺(tái)-28臺(tái)
22臺(tái)-32臺(tái)
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
偏壓電源
40KW/1臺(tái)
40KW/1臺(tái)
40KW/1臺(tái)
50KW/1臺(tái)
50KW/1臺(tái)
60KW/1臺(tái)
磁控電源
1臺(tái)-2臺(tái)
1臺(tái)-2臺(tái)
2臺(tái)-3臺(tái)
2臺(tái)-3臺(tái)
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工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式
多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)）
工件烘烤溫度
常溫-至450℃可控可調(diào)（PID溫控）
工藝氣體
3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)選配自動(dòng)加氣系統(tǒng)
冷卻方式
水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機(jī)（制冷機(jī))或深冷系統(tǒng)。（客戶提供）
控制方式
PLC+觸摸屏操作或計(jì)算機(jī)控制，手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)方式、
供給指標(biāo)
氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、
報(bào)警及保護(hù)
對(duì)泵和靶等缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施及電氣聯(lián)鎖功能。
整機(jī)總功率
100~125KW
125~145KW
145~165KW
165~185KW
185~200KW
200KW以上
輸出頻率
電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據(jù)客戶國(guó)家用電標(biāo)準(zhǔn)配置）
設(shè)備占地面積
15~50m2
15~50m2
25~55m2
25~55m2
35~55m2
35~55m2
備注
可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對(duì)靶等。
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