概述

寬量程真空計 (WRG) 系列在從大氣壓到 10^-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對很多應(yīng)用來說是非常重要的優(yōu)勢。WRG 具有很多新穎的特點，包括新的專利放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點控制和全面的診斷功能。WRG 是經(jīng)濟高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

應(yīng)用

·                任何需要在很寬的范圍內(nèi)測量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實現(xiàn)此目標(biāo)的非常簡單和極為經(jīng)濟高效的手段。

·                對于可能要將真空計直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。

·                WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用領(lǐng)域中使用。但是，如果制程在 5x10^-4 和 5x10^-3mbar 之間花費的時間非常多，Edwards 建議采用獨立的 APG100 皮拉尼真空計和 AIM 潘寧真空計，因為這樣將提高真空計在應(yīng)用中的可靠性。

功能和優(yōu)勢

·                微處理器信號處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）

·                D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強的灰塵防護 - IP44

·                低磁場型 (SL) 適用于敏感性應(yīng)用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡

·                可輕松編程的設(shè)定點涵蓋整個測量范圍

·                磁控管使用先進的專利技術(shù)進行高度可靠的放電，即使在高真空或相對污染的環(huán)境下也無妨

·                自動為皮拉尼真空計元件進行真空設(shè)置

·                單一按鈕大氣設(shè)置

·                通過降低點火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長了維修間隔和真空計壽命

·                結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進式電氣接頭

·                易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨更換

·                綜合性故障模式診斷裝置

技術(shù)數(shù)據(jù)

壓力范圍

大氣壓至 10^-9 mbar/Torr

準(zhǔn)確度 *

通常為 ±15% < 100 mbar 以及 ±30%< 10^-3 mbar

最大過壓