加氫純化裝置。本成套裝置先用壓縮空氣制成純度為≥99.0%的普氮，再經純化處理使其純度提高到99.999%以上，具體如下：
HTH-20純化裝置工作原理：普通氮氣與氫氣混合分別按比例導入氣體靜態(tài)混合體，使其混合均勻、充分。然后進入脫氧器，在脫氧催化劑鈀作用下，進一步清除掉氮氣中游離裝態(tài)的氧，經干燥處理，以除去水，從而得到高純度的氮氣。