東莞EDI超純水設(shè)備 東莞EDI模塊維護(hù) 東莞工業(yè)超純水設(shè)備
廣東集成電路高純水設(shè)備 EDI高純水設(shè)備生產(chǎn)廠家
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☆工藝流程
          加藥系統(tǒng)
                ↓
預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→脫氣系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→供水系統(tǒng)
☆工藝說明  硅片超純水設(shè)備,電子行業(yè)超純水設(shè)備,EDI超純水設(shè)備
※ 預(yù)處理系統(tǒng)由原水箱、原水泵、機(jī)械過濾器、活性碳過濾器、軟化器、保安過濾器或原水箱、原 水泵、機(jī)械過濾器、保安過濾器、超濾組成；
※ 反滲透系統(tǒng)由高壓泵、反滲透膜組件及膜殼組成，分為一級和二級；
※ 脫氣系統(tǒng)由脫氣膜、自吸泵組成；
※ EDI系統(tǒng)由中間水箱、淡水泵、濃水泵、EDI膜塊、直流電源組成；
※ 加藥系統(tǒng)由ST絮凝劑或阻垢劑、PH調(diào)節(jié)劑組成；
※供水系統(tǒng)由純水箱、供水泵組成。
   EDI是一種將電滲析和離子交換相互結(jié)合在一起的除鹽新工藝，該工藝過程取電滲析和離子交換兩者之長，彌補(bǔ)對方之短，即利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不徹底，又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H+和OH-離子實現(xiàn)樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學(xué)藥劑再生的缺陷，因而EDI技術(shù)是一種完美的除鹽工藝。
 EDI超純水設(shè)備是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有如下優(yōu)點:
   ①產(chǎn)水水質(zhì)高(最高18 MΩ.cm)
   ②操作簡單、安全。管理方便。
   ③不會因再生而停機(jī)
   ④無需酸堿化學(xué)藥劑再生。
   ⑤運(yùn)行費(fèi)用低
   ⑥占地面積小
   ⑦無污水排放
EDI工作原理:  
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  EDI模塊將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI工作原理如圖所示。EDI模塊中將一定數(shù)量的EDI單元間用格板隔開，形成濃水室和淡水室。又在單元組兩端設(shè)置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水. EDI設(shè)備一般以二級反滲透（RO）純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm（25℃)。EDI純水電阻率可以高達(dá)18 MΩ.cm(25℃)，但是根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置，EDI超純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。